工作原理

結(jié)構(gòu)特點

• 無油設(shè)計：氣體接觸區(qū)域不使用油或液體，避免了油蒸氣對工作環(huán)境的污染，可實現(xiàn)清潔排氣，特別適合需要無油清潔氣氛的應(yīng)用，如半導(dǎo)體制造、電子設(shè)備生產(chǎn)等領(lǐng)域。

• 結(jié)構(gòu)簡單：主要由隔膜、偏心軸、連桿、閥門等部件組成，整體結(jié)構(gòu)相對簡單，這使得設(shè)備的維護(hù)和保養(yǎng)較為方便，降低了維修成本和停機(jī)時間。

• 密封性好：隔膜的良好密封性能，有效防止了氣體泄漏，保證了泵的抽氣效率和真空度。

性能特點

• 清潔真空：能夠提供無油、清潔的真空環(huán)境，滿足對真空度要求較高且需要避免油污染的工藝需求，如光學(xué)鍍膜、真空鍍膜、電子束焊接等。

• 低噪音和低振動：運行過程中產(chǎn)生的噪音和振動較小，有利于營造安靜的工作環(huán)境，減少對周圍設(shè)備和人員的影響。

• 大氣壓力下可運作：可以在大氣壓力下啟動和運行，不需要額外的輔助設(shè)備來達(dá)到初始真空度，使用較為便捷。

• 抽氣能力有限：由于隔膜的彈性變形能力有限，隔膜式干泵通常只能實現(xiàn)相對較低的抽速，且難以獲得高真空度，一般適用于對真空度要求不是的場合。

• 存在 “死區(qū)"：泵內(nèi)存在一個被稱為 “死區(qū)" 的容積，此處的氣體無法被移至排氣管路，隨著進(jìn)氣壓力降低，流入的新氣體量越來越少，導(dǎo)致容積效率持續(xù)降低，限制了泵的壓縮比和最終真空度。

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體與電子工業(yè)：用于 IC 的晶圓吸附裝置、真空拉鏈、薄膜吸附等工藝，為半導(dǎo)體制造過程提供清潔的真空環(huán)境，避免芯片受到油污污染。

• 醫(yī)療領(lǐng)域：如醫(yī)療機(jī)械中的真空鑷子、血液分析設(shè)備、牙科設(shè)備等，可提供無油的真空源，確保醫(yī)療操作的安全性和可靠性。

• 實驗室研究：常用于真空排氣、真空濃縮、過濾、脫氣、消泡等實驗過程，為科研人員提供穩(wěn)定、清潔的真空條件，保證實驗結(jié)果的準(zhǔn)確性。

• 包裝機(jī)械：在食品、藥品等行業(yè)的包裝過程中，用于真空包裝，延長產(chǎn)品的保質(zhì)期，防止產(chǎn)品氧化和變質(zhì)。

• 光學(xué)機(jī)械：如光學(xué)鍍膜、鏡片制造等工藝中，需要高精度的真空環(huán)境，隔膜式干泵可滿足其對清潔真空的要求，確保光學(xué)元件的質(zhì)量和性能。