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日系精工EBARA荏原制作所 EV-X100N干式真空泵 日系精工EBARA荏原制作所 干式真空泵 荏原的精密、電子事業(yè)分公司支援業(yè)界的技術(shù)制造環(huán)境，是真空技術(shù)與平坦化技術(shù)。 荏原向世界提供各式各樣的產(chǎn)品，除了半導(dǎo)體制造的CMP裝置，還有干式真空泵、廢氣處理設(shè)備、臭氧水制造設(shè)備等。這些產(chǎn)品具有高性能、高可靠性以及安心的支援體制，持續(xù)被采用于多樣化的領(lǐng)域。